光刻膠按照應用領域劃分,主要可分為PCB、面板、半導體三類,每一類光刻膠又有各自細分品類。其中半導體光刻膠技術門檻,按照光源波長的從大到小,可分為紫外寬譜(300-450nm)、g線(436nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、EUV(13.5nm)等主要品類,每一種品類的組分、適用的IC制程技術節點也不盡相同。
中文名稱:丙烯酸1-乙基環戊酯
英文名稱:2-Propenoic acid, 1-ethylcyclopentyl ester
CAS號:326925-69-3
分子量:168.23284
密度:0.96
沸點:206℃
分子式:C10H16O2
熔點:N/A
MSDS:N/A
閃點:75℃
ma-N 2400系列 負性光刻膠
mr-EBL 6000系列 負性光刻膠
XR-1541電子束光刻膠 負性光刻膠
SU-8系列 負性光刻膠
SU-8 2000系列 負性光刻膠
SU-8 3000系列 負性光刻膠
SU-8 TF 6000系列 負性光刻膠
光刻膠AR-N 4340
光刻膠AR-N 4400
光刻膠AR-N 7700
光刻膠AR-N 7720
光刻膠AR-P 6510
光刻膠AR-N 4400
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