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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>AE RFG Series>> AE RFG 2000-2VAE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015
AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
AE 射頻電源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 3155053-007 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | RFG?2000-2V |
| M/N | 3155053-007 | P/N | 0920-00102 |
| 頻率 | 12.56MHz | 輸出功率 | 3000W |
| 設備狀態 | Refurblished |
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性和優良性能的射頻電源，在實際運行中展現出了優秀的工藝穩定性和控制能力。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設計，整體小巧便捷，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力，能夠快速成膜，被廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中，CVD、PVD、PECVD、濺射、蝕刻均有應用。RFG 2000-2V，加上它相關的固定匹配網絡(MFA)，是一種傳統的AE 13.56 MHz射頻發生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機械包絡。
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW參數規格
設備品牌：AE（Advanced Energy）
設備型號：RFG 2000-2V
AC 電源輸入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A
RF 射頻輸出：3000W，13.56MHz
設備散熱：水冷散熱
水冷進水需求：MAX進水水壓6.9 Bars/69kPa
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