AE 射頻電源 RFG 1250 13.56MHz 1250W RF Generator 是經過長期現場驗證的具有穩定輸出性能的高可靠性射頻電源，該型射頻電源在實際運行操作過程中體現出了優良的工藝穩定性和控制能力，能夠實現隊射頻輸出的精準控制。射頻電源整體上采取了緊湊型的設計，可以減少在機臺中的空間占用，降低客戶的使用成本。 AE RFG 系列射頻電源具有優良可靠的成膜能力，因而被廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中，RFG系列射頻電源的成膜速度快，能夠提高產線中的成膜效率。

AE 射頻電源 RFG 1250 13.56MHz 1250W 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 1250                                                                                                                                                     

AC 電源輸入：3 phase~/PE，208V~ ，10A，50/60Hz，2.0KW

RF 射頻輸出：13.56MHz，1250W                                                                                                     

通訊接口：Control，CEX In/Out

設備散熱：水冷散熱