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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN RTGA-30ADAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000009-13 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | RTGA-30A |
| P/N | 2L39-000009-13 | 頻率 | 12.88MHz |
| 輸出功率 | 3500W | 設備狀態 | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經過現場長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源，該系列射頻電源能夠對射頻輸出實施精準控制，被廣泛的應用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優良可靠的成膜能力，成膜速度快，運用于半導體制程薄膜工藝中，可以一定程度上提升產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設計，能夠降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數規格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：RTGA-30A
AC 電源輸入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz
RF 射頻輸出：12.88MHz，3500W
通訊接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水需求：MAX Torque 30N·m
設備重量：48.5kg
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