半導體生產過程中使用的有害氣體主要包括砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、氨(NH3)、硫化氫(H2S)、氯氣(Cl2)等1。這些氣體在生產、灌裝、儲存、運輸和使用過程中，若發生泄漏，會對空氣質量產生以下影響：
污染大氣：有毒氣體的泄漏會直接污染大氣，導致空氣質量下降。這些氣體可能在大氣中形成有害的化合物，影響人類和其他生物的呼吸健康。
影響環境和人體健康：長期接觸或吸入這些有毒氣體，會對人體的呼吸系統、神經系統、消化系統等多個系統造成損害。例如，砷烷和磷烷等氣體可導致神經中毒，氨和硫化氫等氣體則可能引發呼吸道疾病。
綜上所述，半導體生產中的有害氣體如果發生泄漏，會對空氣質量造成嚴重污染，并對環境和人體健康產生負面影響。因此，在半導體生產過程中，必須嚴格遵守安全操作規程，采取有效的防護措施，以防止有害氣體泄漏，保護環境和公眾健康
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