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產      地:
暫無
所在地區:
河南鄭州市
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簡單介紹:
智能型滑動式快速退火爐可搭配石英管、剛玉管使用,實現多種實驗功能。如用于CVD法制備石墨烯;還可廣泛用于各種反應溫度在25~1600℃左右的各種CVD實驗、真空燒結、氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多個研究領域。




詳情介紹:

在半導體工業中,硅是最基本的材料。智能型滑動式快速退火爐可用于硅片的摻雜后的退火處理。例如,在通過離子注入向硅片中引入硼(B)、磷(P)等雜質元素后,利用該退火爐能快速激活這些雜質原子,修復離子注入過程中硅晶格所受到的損傷。這有助于形成所需的 P - N 結,而 P - N 結是幾乎所有半導體器件(如二極管、晶體管)的基本結構單元。


像砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)等化合物半導體材料,在光電子和高速電子器件領域應用廣泛。這種退火爐可以對它們進行退火,改善材料的晶體質量和電學性能。比如,對于 GaN 基的藍光發光二極管(LED)制造過程,退火能夠減少材料中的缺陷,提高 LED 的發光效率和壽命。


產品名稱智能型滑動式快速退火爐
常規型號CY-T1200-50IT-MRTP(爐管直徑:50mm)
CY-T1200-60IT-MRTP(爐管直徑:60mm)
CY-T1200-80IT-MRTP(爐管直徑:80mm)
CY-T1200-100IT-MRTP(爐管直徑:100mm)
爐膛模式一體式
極限溫度1200℃
升溫速率≤20℃(建議:10℃/min)
加熱溫區單溫區
溫區長度440mm
恒溫區長260mm
爐管可選石英管、剛玉管
爐管長度1000mm
氣密性4.03×10-3Pa
控制模式智能PID
控溫精度±1℃
測溫元件根據使用溫度不同可選K型熱電偶或B型熱電偶
電氣認證CE認證
供電電源220V 50Hz
整機功率2.5KW
外形尺寸630×470×610 mm
售后服務12個月質保,終身保修
包裝形式三合板木質包裝箱
隨機配件石英爐管;真空法蘭;爐管堵塞;O型密封圈;防護手套;坩堝爐鉤;說明書;


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