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HCP421V-MP微型線軌探針冷熱臺(tái)可單獨(dú)使用,也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~400℃范圍內(nèi)控溫,同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔,亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。


微型線軌探針冷熱臺(tái)功能特點(diǎn)

迷你溫控探針臺(tái),可用于顯微鏡/光譜儀

-190℃~400℃可編程控溫(負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng))

直徑26 mm加熱區(qū)

可抽真空的腔體,亦可充入保護(hù)氣體使用

模塊化設(shè)計(jì),可自由組合

*可升級(jí)獨(dú)立的4-8獨(dú)立探針,可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針,

可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針,手動(dòng)點(diǎn)針

*可選三同軸接口,用于pA的級(jí)測(cè)試

*可做定制或改動(dòng),詳詢上海恒商

獨(dú)立的四個(gè)探針,可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針,

溫控參數(shù)

溫度范圍 -190℃~400℃(負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng))

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制(含LVDC降噪電源)

最大加熱/制冷速度30℃/min

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩(wěn)定性±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)

軟件功能 可設(shè)溫控速率,可設(shè)溫控程序,可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針 默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針*可選其他種類探針

探針座線性導(dǎo)軌底座結(jié)合杠桿式探針支架,移動(dòng)靈活,點(diǎn)針力度更大,電接觸性更好

點(diǎn)針手動(dòng)點(diǎn)針,每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC

*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱(樣品接電引線)

樣品臺(tái)面電位默認(rèn)為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口

非磁性改造 臺(tái)體可改用非磁性材質(zhì)制造,用于變溫霍爾效應(yīng)探針測(cè)試

光學(xué)參數(shù)

適用光路 反射光路*另有透射光路型號(hào)

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離8 mm*截面圖中WD

透光孔臺(tái)面默認(rèn)無(wú)通光孔,可增設(shè)通光孔以支持透射光路

上蓋窗片觀察窗片范圍φ27mm,最大視角±45°*截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū) 直徑26 mm

樣品腔高5.4 mm*樣品最大厚度由探針決定

放樣打開(kāi)上蓋后置入樣品再點(diǎn)針,關(guān)上蓋后無(wú)法移動(dòng)探針

氣氛控制可抽真空的腔體,亦可充入保護(hù)氣體使用

外殼冷卻可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺(tái)體尺寸/重量 250 mm x 180 mm x 55 mm/2400g


配置列表

基本配置 HCP421V-MP溫控探針臺(tái)、mK2000B溫控器

可選配件 液氮制冷泵、循環(huán)水機(jī)、安裝支架、測(cè)試源表、真空系統(tǒng)、電化學(xué)工作站、臺(tái)面電懸空、樣品接電引線


適用范圍

用于搭配Instec冷熱臺(tái)、Instec溫控探針臺(tái)、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。


溫控配件系列

安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上

mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng):液氮泵+液氮罐+液氮管線

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng),帕爾貼式溫控裝置必選

MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī),含控制軟件

LWDC2長(zhǎng)工作距離聚光鏡

真空系統(tǒng):包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)

主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時(shí)需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間,溫控裝置加熱塊內(nèi)埋有封閉式進(jìn)出管路,液氮泵受mK2000B控制進(jìn)行抽氣,把液氮從液氮罐內(nèi)吸到溫控裝置的加熱塊中,實(shí)現(xiàn)溫控裝置主動(dòng)降溫。

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時(shí),外殼/底座溫度會(huì)被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設(shè)備甚至設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近,能有效預(yù)防此災(zāi)害。

mK2000B溫控器

支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨(dú)立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點(diǎn)。可獨(dú)立控制,也可從InstecAPP軟件控制。

溫度分辨率±0.001℃(熱敏電阻),±0.01℃(RTD),±0.1℃(熱電偶)

控制接口USB虛擬串口可選其他接口

可選項(xiàng)LVDC線性可調(diào)直流電源,用于降低電噪音

溫控軟件 InstecAPP,可提供多語(yǔ)言SDK

安裝支架

針對(duì)用戶設(shè)備定制,可讓熱臺(tái)水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有:

圓環(huán)式(用于圓形載物臺(tái)),平板式(用于方形載物臺(tái))、

載物臺(tái)式(用于代替設(shè)備載物臺(tái))、立式(用于水平光路)。


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