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Lake Shore的CRX-VF是一款無液氦閉循環制冷的探針臺,它增加了±2.5T的超導磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導磁測量。研究人員可以使用CRX-VF進行霍爾效應測量和測試磁輸運參數。CRX-VF可在直徑達51毫米(2英寸)的晶圓上實現真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關鍵要求。

CRX-VF可在10 K至500 K的溫度范圍內工作,它使用獨立的閉循環制冷機,開機后可在無人協助的情況下冷卻至低溫。該系統為尋求兼顧無液氦操作的便利性和Lake Shore產品可靠的測量性能的用戶提供了完整的解決方案。


主要特征:

√  溫度范圍10 K~500 K

√  垂直磁場±2.5 T,可定制3T以上磁場

√  最大2英寸(51 mm)樣品

√  90°探針樣品測量

√  霍爾效應測試選件

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯用轉移樣品,避免樣品暴露在大氣環境


設備參數:


磁場
磁體類型超導螺線管
磁場方向垂直方向(垂直于樣品面)
磁場控制電流控制
磁場大小最大±25 KOe(±2.5 T)
磁場均勻性0.5% 10 mm直徑;1% 25 mm直徑
探針針尖移動<5 μm 整個磁場范圍內
溫度范圍
±2.5 T溫度10 K
±2 T溫度范圍11 K ~ 400 K
±1 T溫度范圍401 K ~ 500 K
以上溫度范圍在最大安裝6個探針臂情況下有效
溫度穩定性
基礎溫度 (無加熱控制)未說明
<10 K±50 mK
10 K ~ 500 K±10 mK
真空以TPS-FRG分子泵為標準PS-HV-CPX高真空選件
抽真空時間90 min (<1 × 10-3 Torr)30 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫下<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基礎溫度下<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高溫度下<5 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循環時間
總循環8.5 h
抽真空1.5 h
探針臺冷卻5 h
探針臺升溫2 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉不可選
樣品振動<1 μm
探針配置
最大探針數6
探針臂溫度計用于監視探針臂的溫度
冷卻探針支架<50 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接防輻射屏熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內落針





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