CY-MSH300-III-DCDCRF-SS? 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-MSH300-III-DCDCRF-SS?
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 9:07:07
- 訪問(wèn)次數(shù) 29
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磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn),鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。
設(shè)備經(jīng)過(guò)緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡(jiǎn)單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。
技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 明細(xì) 產(chǎn)品型號(hào) CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 供電電壓 AC220V,50Hz 整機(jī)功率 4KW 系統(tǒng)真空 ≦5×10-4Pa 樣品臺(tái) 尺寸 φ140mm 控溫精度 ±1℃ 加熱溫度 *高500℃ 轉(zhuǎn)速 1-20rpm可調(diào) 磁控濺射頭 數(shù)量 2” x3 (1”,2”可選) 水冷機(jī)規(guī)格 10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) 冷卻方式 水冷 真空腔體 腔體尺寸 Dia.300mm×300mm 觀察窗口 φ100mm 開(kāi)啟方式 上頂開(kāi)式 腔體材料 不銹鋼 質(zhì)量流量計(jì) 2路;量程100sccm;100sccm(可根據(jù)客戶需要定制多路氣路) 真空系統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-GZK103-A 抽氣接口 CF160 分子泵 CY-600 排氣接口 KF40 前極泵 旋片泵 真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC;220V 50/60Hz 抽氣速率 分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá): 1.0E-3Pa 電源配置 數(shù)量 直流電源x2 射頻電源 x1 *大輸出功率 直流電源500W 射頻電源500W 膜厚測(cè)量 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? 控制系統(tǒng) CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng) 整機(jī)尺寸 600mm X 650mm X 1280mm 整機(jī)重量 300kg