CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:23:34
- 訪問次數 12
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非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途:
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機,用于研發非導電材料薄膜。
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格: 項目 明細 產品型號 CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 供電電壓 AC220V,50Hz 整機功率 6KW 系統真空 ≦5×10-4Pa 樣品臺 外形尺寸 φ185mm 加熱溫度 ≦500℃ 控溫精度 ±1℃ 可調轉速 ≦20rpm 磁控靶槍 靶材尺寸 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm 冷卻模式 循環水冷 水流大小 不小于10L/Min 真空腔體 腔體尺寸 直徑φ300mm,高度500mm 腔體材質 SUU304不銹鋼 觀察窗口 直徑φ100mm 開啟方式 頂開式 氣體控制 1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM 真空系統 配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S 膜厚測量 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? 濺射電源 直流電源500W*2,射頻電源500W 控制系統 CYKY自研專業級控制系統 設備尺寸 600mm × 650mm × 1280mm 設備重量 350kg
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