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邁可諾技術有限公司

主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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GEMStar XT臺式原子層沉積系統

臺式原子層沉積系統
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 GEMStar XT
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 北京市

更新時間：2025-07-01 18:23:49瀏覽次數：1451

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!

【簡單介紹】
產地類別 進口 價格區間 80萬-100萬
應用領域 電子/電池,電氣
產品特點
美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統，在小巧的機身（78 x56 x28 cm）中集成了原子層沉積所需的所有功能，可zui 多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁，結合前驅體瓶加熱，管路加熱，橫向噴頭等設計，使溫度均勻性高達99.9%，氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在8英寸基體上實現膜厚的不均勻性
【詳細說明】

美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統，在小巧的機身（78 x56 x28 cm）中集成了原子層沉積所需的所有功能，可多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁，結合前驅體瓶加熱，管路加熱，橫向噴頭等設計，使溫度均勻性高達99.9%，氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在8英寸基體上實現膜厚的不均勻性優于99%，而且更適合對超高長徑比的孔徑結構等3D結構實現均勻薄膜覆蓋，可實現對高達1500: 1長徑比微納深孔內部的均勻沉積。


GEMStar XT 產品特點：

* 300℃ 鋁合金熱壁，對流式溫度控制

* 175℃溫控150ml前驅體瓶，200℃溫控輸運支管

* 可容納多片4，6，8英寸樣品同時沉積

* 可容納1.25英寸/32mm厚度的基體

* 標準CF-40接口 

* 可安裝原位測量或粉末沉積模塊等選件

* 等離子體輔助ALD插件

* 多種配件可供選擇

GEMStar XT 產品型號：

GEMStar XT：

* 大8英寸/200 mm基片沉積（4'和6' 可選）

* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶接口

* 不可升級為等離子體增強ALD

GEMStar XT-R：

* 大8英寸(200mm)基片沉積（4'和6' 可選）

* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶和CF-40接口

* 可升級為等離子體增強ALD

 臺式原子層沉積系統

GEMStar XT-P：

* 大8英寸/200mm基片沉積（4'和6 '可選）

* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶和CF-40接口

* 裝備高性能ICP等離子發生器

  13.56 MHz 的等離子源非常緊湊，只需風冷， 高運行功率達300W。

* 標配3組氣流質量控制計（MFC）控制的等離子氣源線，和一條MFC控制的運載氣體線，使難以沉積的氧化物、氮化物、金屬也可以實現均勻沉積。



 新產品發布： 臺式原子層沉積系統 GEMStar NanoCUBE：

* 大100 mm 立方體樣品 沉積

* 單路前驅體輸運支管， 2路前驅體瓶接口

* 主要用于3D多孔材料，以及厚樣品的沉積


豐富配件：


多樣品托盤：

* 多樣品夾具，樣品尺寸（8", 6", 4"）向下兼容。

* 多基片夾具，多同時容納9片基片。

臺式原子層沉積系統 

溫控熱托盤：

* 可加熱樣品托盤， 高溫度500℃，可實現熱盤-熱壁復合加熱方式。


臺式原子層沉積系統

粉末沉積盤：


臺式原子層沉積系統 

臭氧發生器：


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 真空進樣器（Load Lock） 臺式原子層沉積系統 晶振測厚儀臺式原子層沉積系統 
 前驅體瓶：臺式原子層沉積系統  前驅體加熱套臺式原子層沉積系統 

粉末旋轉沉積罐模塊：

配合熱壁加熱方式，進一步實現對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。 

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手套箱接口： 

可從側面或背面wan美接入手套箱，與從底部接入手套箱不同，不占用手套箱空間。由于主機在手套箱側面，反應過程中不對手套箱有加熱效應，不影響手套箱內溫度。

 

臺式原子層沉積系統

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應用案例

臺式原子層沉積系統

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應用領域

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