HCMP 手動探針臺

微型真空探針臺是一款專門用于材料電學表征和測量的微型桌面型電學測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學表征和測量，還可以在真空、氣氛環境下對材料進行電學測量評估，是實驗室測量薄膜材料電學材料工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、等領域。

功能特點

1、無人機外觀設計開發，讓低溫探針臺加小巧精密；

2、XYZ三維移動平臺的開發，位移最小分辨率10um以下；

3、電聲制冷機制冷加熱一體化平臺應用開發；

4、液氮制冷加熱一體化平臺應用開發；

5、利用機械彈性設計，低溫環境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；

6、實現-160℃~450℃的制冷和加熱測量環境，控溫精度達到±0.5℃；

7、采用1000X放大鏡顯微鏡設計，有利于實時觀察樣品的測量狀態；

8、廣泛用于復雜、高速器件的精密電器測量，可靠性高；

9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得簡單；

10、可以通過USB傳輸數據，數據格式為Excel格式。

應用場景：晶圓芯片高低溫測試

測試類型：IV/CV/RF

樣品臺：4英寸

溫度范圍：77K-673K

真空度：10E-4Pa

顯微鏡類型：單筒、體視、金相顯微鏡

探針臂數量：2-6個

探針臂移動：50mm*50mm*50mm

測試接口：BNC三同軸

測試精度：100fA

可搭配儀器：源表、半導體參數分析儀、網絡分析儀、示波器等