產品描述
手動探針臺系統，可定制手動探針臺系統，整套系統包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等配置如下：
| 序號 | 項目 | 說明 |
| 1 | 探針臺主體 | 可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉范圍:360度低漏電底柵接口，標準Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺 |
| 2 | 顯微鏡 | 舜宇三目連續變倍體視鏡，LED環形照明光學變倍總倍率 45倍，物鏡 0.7~4.5倍連續變倍可選配高清攝像頭，總放大倍率約700倍 |
| 3 | 針座 | 磁性吸附底座，XYZ移動范圍:12mm移動分辨率 2um標配4個，最多可裝6個 |
| 4 | 探針線纜 | 低漏電探針設計，漏電流低于100fATriax 標準接口輸出，Keithley原裝低噪聲 Triax 線纜 |
| 5 | 探針 | 低漏電探針設計，針尖直徑標配10um，最小1um |
| 6 | 尺寸和自重 | 尺寸:450mmW*450mmD*500mmH;自重:約 30Kg。 |
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北京中顯恒業儀器儀表有限公司
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