EVG^®610  UV Nanoimprint Lithography System

EVG®610  紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從小件到大150毫米

技術數(shù)據(jù)

該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵合對齊和納米壓印光刻（NIL）。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其良好的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求，因此使其非常適合大學和研發(fā)應用。

對于壓印工藝，EVG610允許基板的范圍從小芯片尺寸到直徑150毫米。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括郵票的釋放機制。 EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力，以實現(xiàn)高產(chǎn)量的印記，該卡盤支持軟性和硬性印模。

特征

頂側(cè)和底側(cè)對齊能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和配方控制的曝光間隙

支持新的UV-LED技術

小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換；      臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能：鍵對齊、紅外對準、納米壓印光刻、µ接觸印刷

技術數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）標準光刻：大150毫米的碎片；柔軟的UV-NIL：大150毫米的碎片

解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程

柔軟的UV-NIL

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

自動分離：不支持；

工作印章制作：外部；