納米壓印系統，針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計，配備溫度控制和低壓控制系統，使用方便，性能穩定可靠；同時配合專業設計的壓印模板，可實現各種微納米圖形加工，特征線寬小于20nm；

納米壓印系統

應用領域：

光學器件，顯示器，數據存儲，生物技術，半導體芯片，化學合成，新型材料等

技術性能：

*操作方便

*可升級功能

*客戶可根據需求定制設備功能

*用戶通過觸摸屏來程序化控制處理過程；

*用戶可自主設定工藝參數；

*真空吸附模板和Wafer

*具備UV固化功能

*Wafer尺寸：4英寸；

*壓印尺寸：2英寸；

*壓印壓力：0~25PSI（可升級到大100PSI）
*模板尺寸：5×0.09英寸
*典型壓印時間：小于5分鐘/wafer