CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS 臺式緊湊型三靶磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 15:59:04
- 訪問次數 7
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CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統,主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積,實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置.
磁控濺射鍍膜儀技術參數:
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 6KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ150mm |
加熱溫度 | ≦600℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
靶槍數量 | 3 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ300mm,高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 配直流電源,功率500W*3 | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H | |
設備重量 | 145kg |
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